产品名称：GWDL-双层 CVD滑动水平管式电炉
型号：GWDL-双层 CVD滑动水平管式电炉
规格：GWDL-双层 CVD滑动水平管式电炉
备注：GWDL-双层 CVD滑动水平管式电炉
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序 号 | 名称 | 规格参数 | 材质 | 数量 | 备注 |
1 | 130 炉膛组件 | 3 温区/最高温 1100℃ 每个温区长度 300mm/ 不要隔层 | 硅酸铝 | 2 套 | 适配 130mm 外径石英管 增配 30mm 直径炉 膛两端堵头 |
3 | 130 预热炉膛组件 | 1 温区/ 预 热 炉 温 区 长 度 100mm，温度 300-400℃ | 硅酸铝 | 2 套 | 适配 130mm 外径石英管 增配 30mm 直径炉 膛两端堵头 |
3 | 130 炉壳 组件 | 适配 130 外径石英管 | Q235 | 2 套 | 钣金加工 喷塑 9016 交通白 |
4 | 130 预热 炉壳组件 | 适配 130 外径石英管 | Q235 | 2 套 | 钣金加工 喷塑 9016 交通白 |
5 | 石英管 | 外径?130mm | 石英 | 2 根 | 预估长度 3000mm |
6 | 130 水冷 法兰组件 | 适配 130 外径石英管 | SUS 304 | 4 套 | |
7 | 30 法兰组 | 适配 30 外径石英管 | SUS 304 | 4 套 |
件 | |||||
8 | 滑轨滑块 | 长度 3500 滑轨/配 8 个滑块 | SUJ2 | 4 套 | |
9 | 真空泵 | 2 台 | |||
10 | 热电偶 | K 型 | 8 根 | ||
11 | 触摸屏 | 屏幕箱和安装支架 | 昆仑通态 | 2 个 | 可安装型材上 |
12 | 温控表 | 宇电 | 8 块 | ||
13 | 过滤器 | 2 个 | |||
14 | 冷水机 | 1 台 | 带压力压缩机 | ||
15 | PLC 组件 | 独立电箱，西门子 S7-200 基础版，24 伏电源等 | 2 套 | 尺寸依据支架宽度进行设计，便于悬挂安装上下两层右 侧各放一套 | |
16 | 压力表 | 2 个 | |||
17 | 角阀 | 不锈钢 | 4 个 | ||
18 | 波纹管 | 配合 KF25 接口连接，配套卡 箍 | 2 根 | 长度依据离地高度 就近原则 | |
11 | 台面板 | 1750x700x2(长 x 宽 x 厚） | SUS 304 | 6 | |
10 | 型材支架 | 3500x700x2300（长 x 宽 x 高) | A6063-T5 | 1 套 | 上下两层各放一套 炉子 |
11 | 坦克链 | 配合炉子滑动使用 | 2 根 |
